臺式掃描電鏡

一、SS-30臺式掃描電鏡性能特點：

1、放大倍率20-30000X（Magnification Max 20-30,000 X）；

2、標配二次電子探測器，可選背散射電子探測器（Standard secondary electron detector, optional backscatter electron detector）；

3、1kV~15kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 15kV，High image resolution）；

4、通過選配EDS可進行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；

5、XYZ軸三向手動操作移動平臺（XYZ axis three-way manual operation platform）；

6、最大樣品尺寸高度20mm，直徑40mm。

二、SS-30臺式掃描電鏡產品特性：

（1）臺式掃描電子顯微鏡，體型小巧，占用空間小；

（2）強大的軟件功能，單窗口操作界面，讓用戶操作方便簡單；

（3）軟件實現檢測圖形實時存儲；

（4）掃描電子顯微鏡產品結構設計簡潔，易于維護及保養；

（5）自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品。

三、主要參數：

1、分辨率：15nm (30kV, SE Image)

2、放大倍率：20~60,000 X

3、加速電壓：1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

圖像檢測

1、二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

2、 Detector SE 二次電子探測器

觀察模式

3.1.Standard Mode 標準模式

3.2.Charge-up reduction mode 遞減模式

電子槍系統

1、燈絲類型：預對中鎢燈絲

2、偏壓系統：自動偏壓方式

3、電子槍校正：手動方式

透鏡構成

1、聚光鏡：2段式磁線圈透鏡

2、物鏡：1段式磁線圈物鏡

3、探測器類型：SE Detector/ BSE Detector

4、載物臺系統：手動

5、載物臺移動：3軸手動

6、圖像偏移：Image shift X, Y Image Shift (±150um)